物镜:O.7×-4.5X连续变倍特镜（变倍比6.4:1)目镜:WF10X/20mm
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X/Y/Z:650*750*250mm精度:3.5+L/200
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X/YIZ:50*13*80(mm)精度:0.01mm角度:360°
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X行程250/100 Y行程150/100分辨率1 um放大倍率10x-100x
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二次电子分辨率:3.0 nm(加速电压=30kV， WD=5 mm高真空模式)放大倍率:5-300,000倍（底片倍率*5)7 -800,000倍···
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工作台尺寸:50mmx50mm/250mmx150mm数字显示值:0.0005mm/0.00002mm镜头倍率5x~500x
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有效直径:315mm屏幕旋转:±360（可显示±370° )X/Y计数器分辨力:0.001mm放大倍率:10X~100x
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测量范围:0~100mm分格值:0.0001mm测量力:1.5N~2.5N外尺寸测量稳定性:0.3 u m
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X坐标行程200mm;Y坐标行程:100mmX、Y坐标分辨率:0.0002mm精度:(1+L/100) u m
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仅需一键2秒自动对焦检测双远心双倍率光学镜头镜头视野:100mm精度4.8微米
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